ホロン【JP:E02353】その他

半導体検査装置の有力企業。電子ビームによる微小寸法測定装置を展開し、マスク用装置が主力。チャージアップ・コンタミネーション抑制技術、収差補正技術を保有。親会社は計測機器大手のエー・アンド・デイ。