サムコJP:6387

半導体等電子部品製造装置の有力企業。LS-CVDやALDのCVD装置、トルネードICPエッチング、Aqua Plasma洗浄装置を展開。2015年12月のALD販売開始、2016年9月のAqua Plasma販売開始。台湾を中心に海外代理店を通じた保守サービス展開。