従業員の状況
連結会社の従業員数
| 2012/03 | 2013/03 | 2014/03 | 2015/03 | 2016/03 | 2017/03 | 2018/03 | 2019/03 | 2020/03 | 2021/03 | 2022/03 | 2023/03 | 2024/03 | 2025/03 | |
| 半導体製造装置 | - | - | - | - | - | - | - | 1,112 （550） | 1,146 （520） | 1,240 （533） | 1,304 （646） | 1,355 （721） | 1,463 （692） | 1,564 （698） |
| 計測機器 | - | - | - | - | - | - | - | 866 （380） | 935 （410） | 881 （402） | 880 （416） | 924 （474） | 983 （465） | 986 （467） |
| 合計 | 1,144 （470） | 1,275 （495） | 1,393 （540） | 1,447 （620） | 1,559 （690） | 1,784 （720） | 1,933 （820） | 2,119 （980） | 2,250 （980） | 2,293 （996） | 2,354 （1,123） | 2,468 （1,258） | 2,658 （1,225） | 2,767 （1,258） |
単体の従業員数
| 2012/03 | 2013/03 | 2014/03 | 2015/03 | 2016/03 | 2017/03 | 2018/03 | 2019/03 | 2020/03 | 2021/03 | 2022/03 | 2023/03 | 2024/03 | 2025/03 | |
| 半導体製造装置 | - | - | - | - | - | - | - | 583 （450） | 625 （430） | 672 （444） | 715 （539） | 769 （582） | 842 （557） | 904 （565） |
| 計測機器 | - | - | - | - | - | - | - | 226 （140） | 229 （150） | 222 （138） | 222 （143） | 233 （168） | 290 （180） | 313 （193） |
| 合計 | 582 （280） | 613 （285） | 618 （330） | 637 （380） | 679 （440） | 726 （445） | 809 （500） | 868 （620） | 912 （610） | 944 （611） | 992 （712） | 1,054 （783） | 1,200 （775） | 1,292 （804） |
（注）括弧内は平均臨時雇用人員
その他の単体データ
| 2012/03 | 2013/03 | 2014/03 | 2015/03 | 2016/03 | 2017/03 | 2018/03 | 2019/03 | 2020/03 | 2021/03 | 2022/03 | 2023/03 | 2024/03 | 2025/03 | |
| 平均年間給与（万円） | - | - | - | - | - | - | - | 758.2 | 715.3 | 701.4 | 749.6 | 798.5 | 801.8 | 782.8 |
| 平均年齢 | - | - | - | - | - | - | - | 40.4 | 40 | 39.9 | 39.8 | 39.6 | 39.2 | 38.9 |
| 平均勤続年数 | - | - | - | - | - | - | - | 11.6 | 11.2 | 11.2 | 11.1 | 11.1 | 10.2 | 10.1 |