アドテックプラズマテクノロジー【JP:6668】

半導体・液晶基板向け電源・装置事業の有力企業。プラズマ用高周波電源、マッチングユニット、計測器、研究機関向け直流・パルス・マイクロ波電源を展開。第4四半期の第三者割当増資で一部持分比率低下、持分法適用関連会社化。米国・欧州・ベトナム・韓国・台湾・中国で展開。