| 2024年10月 | 株式会社オキサイドパワークリスタルを設立（現連結子会社） |
| 2024年10月 | 株式会社JSファンダリとSiC単結晶の量産化に向けた製造で業務提携 |
| 2023年03月 | Raicol Crystals Ltd.（イスラエル）を子会社化 |
| 2023年03月 | 山梨県北杜市に第４工場（第１期工事）と第５工場竣工 |
| 2022年06月 | 株式会社日立ハイテクとの資本提携は解消（業務提携は継続） |
| 2022年05月 | LQUOM株式会社と長距離量子通信機器の実用化に向けた研究開発で資本業務提携 |
| 2022年04月 | 東京証券取引所の市場区分の見直しにより、同取引所グロース市場に移行 |
| 2022年03月 | 山梨県北杜市に第６工場取得 |
| 2021年10月 | 株式会社UJ-CrystalとSiC単結晶の量産化に向けた研究開発で資本業務提携 |
| 2021年04月 | 東京証券取引所マザーズに株式を上場 |
| 2020年04月 | 久保田研究所をレーザ事業部に統合 |
| 2020年02月 | LASEA S.A.とレーザ微細加工機の販売で業務提携 |
| 2019年06月 | デンマークNKT Photonics A/Sとフェムト秒レーザの開発・製造で業務提携 |
| 2018年08月 | 米国Lumeras LLCから真空紫外レーザ事業買収 |
| 2016年08月 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ（現 株式会社日立ハイテク）と資本・業務提携 |
| 2016年06月 | 横浜事業所を神奈川県横浜市保土ヶ谷区（現所在地）に移転 |
| 2016年06月 | 国際電気標準会議より、スペックル測定方法の国際標準取得 （発行No.IEC 62906-5-2:2016 Laser display devices -Part 5-2） |
| 2015年03月 | 日立化成株式会社（現 株式会社レゾナック）よりシンチレータ単結晶事業買収、 山梨県北杜市に第３工場取得 |
| 2013年04月 | 光学的ノイズ（スペックルノイズ）測定器であるDr.SPECKLE、ニューラインナップ発売開始 |
| 2013年02月 | 266nmCWレーザ、ニューラインナップ発売開始 |
| 2012年04月 | 久保田研究所を設立 |
| 2010年10月 | 神奈川県横浜市港北区に横浜事業所を設置 |
| 2010年09月 | 株式会社マグネスケールよりレーザ事業買収 |
| 2008年12月 | レーザーテック株式会社と資本提携 |
| 2008年10月 | 第１・２工場が、ISO9001認証取得 |
| 2008年03月 | 山梨県北杜市に第２工場竣工 |
| 2007年10月 | エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社と資本・業務提携 |
| 2006年08月 | 米国KLA-Tencor Corporation（現 KLA Corporation）と資本・業務提携 |
| 2006年06月 | 株式会社ニコンと資本・業務提携 |
| 2005年12月 | 三菱電線工業株式会社より光デバイス事業買収 |
| 2005年06月 | 本社及び第１工場を山梨県北杜市武川町（現所在地）に移転 |
| 2003年09月 | 東芝セラミックス株式会社（現 クアーズテック株式会社）と資本・業務提携 |
| 2001年05月 | Super LN/LT新製品開発に成功 国際展示会で販売開始 |
| 2000年10月 | 山梨県北巨摩郡小淵沢町（現 山梨県北杜市小淵沢町）に創業者の研究成果を世の中に還元することを目的として株式会社オキサイドを設立 |